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Al—Ni-rare earth element alloy sputtering target 发明授权

2023-05-31 1270 672K 0

专利信息

申请日期 2025-06-25 申请号 US11341531
公开(公告)号 US7803238B2 公开(公告)日 2010-09-28
公开国别 US 申请人省市代码 全国
申请人 Toshihiro Kugimiya; Katsutoshi Takagi; Hitoshi Matsuzaki; Kotaro Kitashita; Yoichiro Yoneda
简介 An Al-base alloy sputtering target consisting Ni and one or more rare earth elements, wherein there are 5.0×104/mm2 or more compounds whose aspect ratio is 2.5 or higher and whose equivalent diameter is 0.2 μm or larger, when a cross sectional surface perpendicular to the plane of the target is observed at a magnification of 2000 or higher.


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