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分子束外延生长GaN基发光晶体膜的方法 发明申请

2023-10-05 2370 267K 0

专利信息

申请日期 2025-07-16 申请号 CN201010017135.0
公开(公告)号 CN101748382A 公开(公告)日 2010-06-23
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
简介 本发明揭示了一种分子束外延生长GaN基发光晶体膜的方法,在生长过程中掺杂稀土离子,取代部分Ga3+的晶格格位,其特征在于:在所述GaN晶体膜的原料配方中按比例掺入III族元素硼或铝,在生长过程中所述III族元素硼或铝以三价离子的形式进入GaN晶格,调配稀土离子和Ga3+之间的离子半径差;所述原料配方摩尔比例为:Ga∶Re∶A=(1-x-y)∶x∶y,其中Re表示稀土金属,A表示III族元素硼或铝,0.1%≤x≤10.0%,0.1x≤y≤x。本发明由于采用了III族元素硼或铝和稀土金属按一定配比进行共掺,从而能在很大程度上改善因为Re3+和Ga3+之间较大的半径失配而造成的GaN晶体膜晶格畸变,从而提高GaN晶体膜的发光性能。


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