| 申请日期 | 2025-06-24 | 申请号 | CN200580038440.5 |
| 公开（公告）号 | CN101116170B | 公开（公告）日 | 2010-05-05 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 莫门蒂夫性能材料股份有限公司 | ||
| 简介 | 作为静电夹具(ESC)，用在半导体晶片加工应用中的晶片加工装置，其包括石墨基底(1)和至少一种电极图案(3)，其中所述电极图案中的凹槽填充有绝缘材料(2)，所述绝缘材料包括选自B、Al、Si、Ga、耐火硬金属、过渡金属、稀土金属、其组合中的至少一种元素的氮化物、碳化物、碳氮化物或氧氮化物或其组合中的至少一种，从而形成第一基本上平坦的表面。然后将第一基本上平坦的表面涂覆至少一层半导体层(4)，所述层包括以下至少元素的氮化物、碳化物、碳氮化物或氧氮化物或其组合中的至少一种，所述元素选自B、A、Si、Ga、耐火硬金属、过渡金属、稀土金属或其组合。从而形成第二基本上平坦的表面，其向外露出从而支承所述晶片。 | ||
|
您还没有登录，请登录后查看下载地址
|
客服热线：
手机版
二维码
