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含稀土元素玻璃材料及基板及含该基板之装置 发明申请

2023-03-14 3390 2554K 0

专利信息

申请日期 2025-09-14 申请号 TW098115765
公开(公告)号 TW201008890A 公开(公告)日 2010-03-01
公开国别 TW 申请人省市代码 全国
申请人 康宁公司
简介 一种含有稀土族金属玻璃材料, 其组成份以%莫耳比表示包含:SiO2 66-75%, Al2O3 11-17%, B2O3 0-4%, MgO 1-6.5%, CaO 2-7%, SrO 0-4%, BaO 0-4%, Y2O3 0-4%, La2O3 0-4%, Y2O3+La2O3 0.1-4%。在组成份中Y2O3及/或La2O3将减小玻璃之T2.3, 因而允许制造出较高退火点之玻璃。玻璃特别有用於作为低温多晶矽为主之半导体装置。


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