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DOPED DIELECTRIC LAYERS AND METHOD FOR FORMATION THEREOF 发明申请

2023-10-24 1920 277K 0

专利信息

申请日期 2025-06-29 申请号 WOCA09001157
公开(公告)号 WO2010020046A1 公开(公告)日 2010-02-25
公开国别 WO 申请人省市代码 全国
申请人 MCMASTER UNIVERSITY; THE UNIVERSITY OF MANCHESTER; UNIVERSITY OF SURREY; KNIGHTS Andrew P; HALSALL Matthew; GWILLIAM Russell Mark
简介 A doped dielectric layer and a method for forming the doped dielectric layer are provided. The doped dielectric layer comprises (a) a silicon dioxide or silicon oxynitride layer (b) doped with from about 0.01 to about 20 atomic percent of one or more rare-earth elements, the one or more rare-earth element being distributed throughout the dielectric layer. Semiconductor structures comprising the above dielectric layer are also provided.


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