| 申请日期 | 2025-07-11 | 申请号 | CN200910304713.6 |
| 公开（公告）号 | CN101613855A | 公开（公告）日 | 2009-12-30 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 中国船舶重工集团公司第十二研究所 | ||
| 简介 | 本发明公开的一种非平衡磁控溅射稀土类石墨复合膜，由依次复合的等离子渗金属层、 Cr/RE过渡层、C/Cr-RE梯度层及C/Cr-RE复合层组成；其中，Cr/RE过渡层按照质量百分比其 组成为：RE：0.1％～1％，余量为Cr，各组分的质量百分比之和为100％；C/Cr-RE复合层按照 质量百分比其组成为：Cr：3％～20％，RE：0.3％～10％，余量为C，各组分的质量百分比之和 为100％。本发明制备非平衡磁控溅射稀土类石墨复合膜的方法，首先确定稀土类石墨复合膜 成分，计算高纯铬靶和高纯碳靶上安装的稀土镶块的数量，在高纯铬靶和高纯碳靶上加工镶 块安装孔，制备高纯铬镶块、高纯碳镶块和高纯稀土镶块，并进行安装，磁控溅射得到复合 膜。本发明非平衡磁控溅射稀土类石墨复合膜，解决了现有的非平衡磁控溅射固体润滑复合 膜热稳定性和抗电化学腐蚀性差的问题。 | ||
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