申请日期 | 2025-06-27 | 申请号 | TW098107531 |
公开(公告)号 | TW200940684A | 公开(公告)日 | 2009-10-01 |
公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 尼康股份有限公司 | ||
简介 | 本发明提供一种萤光膜、及具有该萤光膜之介电体多层膜、利用该萤光膜之光学元件、摄影装置、光学特性测量装置、曝光装置、曝光方法及元件制造方法,上述萤光膜,其特徵在於,含有由可使紫外线穿透之氟化物所构成的母材、及掺杂於该母材中之活化材,上述活化材含有过渡元素或者稀土类元素,且藉由於上述母材中照射上述紫外线而发出萤光。 |
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