积体电路之电接触件及利用气体团簇离子束处理以形成该电接触件之方法发明申请

2023-09-02 4440 3232K 0

申请日期	2025-07-07	申请号	TW097137279
公开（公告）号	TW200937576A	公开（公告）日	2009-09-01
公开国别	TW	申请人省市代码	全国
申请人	东京威力科创股份有限公司
简介	本发明之实施例揭露一种积体电路之电接触件及利用气体团簇离子束(GCIB)处理的形成方法。此接触件包含藉着将图案化结构暴露至包含过渡金属前驱物或稀土金属前驱物之气体团簇离子束所形成。

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