| 申请日期 | 2025-08-18 | 申请号 | CN200610009203.2 |
| 公开（公告）号 | CN100523279C | 公开（公告）日 | 2009-08-05 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所; 株式会社钢臂功科研 | ||
| 简介 | 本发明提供一种可以减小制造时以及使用时所产生的翘曲(变形)， 并能够高精度、高效率地制造靶，而且可以进行稳定的成膜作业的Al-Ni- 稀土类元素合金溅射靶。是一种包含Ni以及1或2种以上稀土类元素的 Al基合金溅射靶，其特征在于，在以倍率：2000倍以上观察与该靶平面 垂直的剖面的时候，纵横尺寸比为2.5以上、且当量圆直径为0.2μm以上 的化合物存在5.0×104个/mm2以上。 | ||
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