具有提供电浆抗性之保护层的基材支撑件发明申请

2023-07-02 2740 1709K 0

申请日期	2025-07-11	申请号	TW096128301
公开（公告）号	TW200816360A	公开（公告）日	2008-04-01
公开国别	TW	申请人省市代码	全国
申请人	应用材料股份有限公司
简介	本发明的实施例提供一种具有增强电浆耐受性之保护层的基材支撑组件。在一实施例中, 一种基材支撑组件包括具有基材支撑上表面的静电吸盘、和设置在静电吸盘上的保护层, 其中保护层系由含有稀土金属的陶质材料制成。

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