申请日期 | 2025-09-18 | 申请号 | TW092137113 |
公开(公告)号 | TWI295327B | 公开(公告)日 | 2008-04-01 |
公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 信越化学工业股份有限公司 | ||
简介 | [用以解决课题之手段]本发明为一种高耐电压性构件,其特徵为由含有原子序64~71的稀土元素(Rere earth elements)氧化物之溶射皮膜所构成之高耐电压溶射皮膜材料。[发明之效果]本发明提供一种高耐电压性构件,可妥适地作为介电体滚筒(dielectric roll)、加热基板、半导体制造装置的静电吸盘构件、微波发热体等之用。 |
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