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高耐电压性构件 发明授权

2023-05-17 3960 952K 0

专利信息

申请日期 2025-09-18 申请号 TW092137113
公开(公告)号 TWI295327B 公开(公告)日 2008-04-01
公开国别 TW 申请人省市代码 全国
申请人 信越化学工业股份有限公司
简介 [用以解决课题之手段]本发明为一种高耐电压性构件,其特徵为由含有原子序64~71的稀土元素(Rere earth elements)氧化物之溶射皮膜所构成之高耐电压溶射皮膜材料。[发明之效果]本发明提供一种高耐电压性构件,可妥适地作为介电体滚筒(dielectric roll)、加热基板、半导体制造装置的静电吸盘构件、微波发热体等之用。


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