| 申请日期 | 2025-06-27 | 申请号 | TW096110744 |
| 公开（公告）号 | TW200745369A | 公开（公告）日 | 2007-12-16 |
| 公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | ||
| 简介 | 一种闸极介电质之沉积方法, 该闸极介电质包括至少两种氮化物或是氮化铝形式的稀土金属元素。该方法包含在一处理室中配置一基板以及暴露该基板於包含第一稀土前驱物的气体脉冲与包含第二稀土前驱物的气体脉冲中; 亦可随意地暴露该基板於包含铝前驱物的气体脉冲中。接着, 在每一前驱物气体脉冲之後, 暴露该基板於含氮气体的气体脉冲中。在可供选择的实施例中, 可使该第一及第二稀土前驱物一起产生脉冲, 且可将任一者或是二者连同铝前驱物一起施予脉冲。该第一及第二稀土前驱物包含不同的稀土金属元素。可以重复接续的暴露步骤, 以沉积具有期望厚度的一混合稀土氮化物或是氮化铝层。亦可在每一气体脉冲之後实施清洗或是排空步骤。 | ||
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