| 申请日期 | 2025-06-28 | 申请号 | CN200480021992.0 |
| 公开（公告）号 | CN100457963C | 公开（公告）日 | 2009-02-04 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 日矿金属株式会社 | ||
| 简介 | 本发明涉及一种具有平均结晶尺寸为1nm～50nm的组织的烧结体溅射靶，特别是由3元系以上的合金组成，以从Zr、Pd、Cu、Co、Fe、Ti、Mg、Sr、Y、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Te、稀土类金属中选择的至少一种元素作为主要成分的烧结体溅射靶。通过烧结喷雾粉制造该靶。能够代替结晶组织粗糙，且通过成本高的把溶融金属粹火得到的块状金属玻璃，提供具有通过烧结法得到的高密度的极其微细且均匀的组织的靶。 | ||
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