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铈系研磨材料 发明申请

2023-05-09 1820 1041K 0

专利信息

申请日期 2025-08-29 申请号 CN200680040308.2
公开(公告)号 CN101321841A 公开(公告)日 2008-12-10
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 三井金属鉱业株式会社
简介 本发明的目的是提供氧化铈含量高的高纯度铈系研磨材料,该研磨材料的研磨速度得到了改善。本发明的铈系研磨材料的特征在于,它是相对于全部稀土类氧化物(TREO)的氧化铈的含量为90质量%以上的铈系研磨材料,相对于研磨材料总量,含有0.01~2.0质量%的选自Ti及原子序号80以下的5族~12族的元素的至少1种特定元素。


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