申请日期 | 2025-08-22 | 申请号 | CN200480021274.3 |
公开(公告)号 | CN100493677C | 公开(公告)日 | 2009-06-03 |
公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 安格斯公司 | ||
简介 | 本发明公开了一种纯化(purification)氢化物气体的方法,其使用 至少具有一种镧系金属或镧系金属氧化物的材料。该方法使污染物降 低至100ppb,优选10ppb,更优选1ppb。所述材料还包括过渡金属 和过渡金属氧化物、稀土元素和其它金属氧化物。本发明还包括在本 发明方法中使用的材料。 |
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