| 申请日期 | 2026-04-21 | 申请号 | TW107112034 |
| 公开（公告）号 | TW201903115A | 公开（公告）日 | 2019-01-16 |
| 公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 日商信越化学工业股份有限公司 | ||
| 简介 | 本发明系一种合成石英玻璃基板用研磨剂，其系包含研磨粒子及水而成之合成石英玻璃基板用研磨剂，其特徵为：前述研磨粒子系以二氧化矽粒子作为母体粒子，於该母体粒子之表面上担持有铈与由铈以外的其他3价稀土类元素所选出的至少1种稀土类元素之复合氧化物粒子者藉此，提供一种合成石英玻璃基板用研磨剂，其系具有高的研磨速度，同时能充分减低因研磨所致的缺陷之发生 | ||
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