简介 |
本发明系关於一磁控溅镀法(Magnetron Sputtering)制备紫外光可激发白光之奈米复合氧化锌-二氧化矽薄膜, 其制程简单, 成长过程基板不需加热, 氧化锌本身不需掺杂任何稀土离子做为活化中心, 成长後薄膜也不须经退火处理(Annealing), 且复合薄膜化学稳定性高, 光学穿透率高。氧化锌掺杂源经磁控溅镀後, 於二氧化矽介质内均匀散布形成直径约45?的奈米微晶颗粒, 经紫外光(Ultraviolet)激发後可发出三种波长范围之发光带 : 紫光(Violet)、蓝光(Blue)及绿黄光(Green-yellow), 混光之後形成白光, 此三波长范围可藉由改变氧化锌掺杂量而可调变其发光带强度分布, 进而调变白光色温。利用此法成长之发白光薄膜, 比较昂贵的萤光粉可相对节省成本, 且仅只单一膜层与不需复杂加工之氧化锌粉体即可激发出白光, 优於需要多种萤光粉混合的发光元件系统, 此复合材料系统可沉积於任何基板或於元件表面披覆(Coating), 更可解决萤光粉体因颗粒不一、分散不佳、聚集而造成混光不均的问题, 由於成长薄膜无任何特殊限制, 能够结合光电元件制程, 因此极适合於发光二极体或平面光源上的应用。 |