| 申请日期 | 2025-09-02 | 申请号 | CN201780025607.7 |
| 公开（公告）号 | CN109075000A | 公开（公告）日 | 2018-12-21 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 艾克塞利斯科技公司 | ||
| 简介 | 本发明提供一种离子注入系统，其具有一个或多个导电组件，所述导电组件由镧钨以及与预定百分比的稀土金属形成合金的耐熔金属中的一种或多种组成。所述导电组件可以是离子源的组件，诸如阴极、阴极护罩、推斥极、内衬、孔板、电弧腔室主体和撞击板中的一个或多个。所述孔板可以与引出孔径、抑制孔径和接地孔径中的一个或多个相关联。 | ||
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