耐腐蚀的多层构件发明申请

2023-03-05 3140 860K 0

申请日期	2025-07-19	申请号	CN200610064446.6
公开（公告）号	CN101030524A	公开（公告）日	2007-09-05
公开国别	CN	申请人省市代码	全国
申请人	信越化学工业株式会社
简介	本发明涉及一种待暴露于含有卤素的气体气氛中或含有卤素的气体等离子体气氛中的耐腐蚀构件，该构件包括基体和在基体上沉积的多层，该多层包括提供最外表面的稀土氟化物层和在稀土氟化物层下面的具有小于5％的孔隙率的稀土氧化物层。

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