| 申请日期 | 2025-07-14 | 申请号 | TW095125930 |
| 公开（公告）号 | TW200720219A | 公开（公告）日 | 2007-06-01 |
| 公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 东陶机器股份有限公司 | ||
| 简介 | 本发明系为提供高密度且耐电浆蚀刻性优越之三氧化二钇(Y2O3)烧结体以及稀土类氧化物烧结体。本发明系使三氧化二钇(Y2O3)烧结体以含有三氧化二钇(Y2O3)之结晶以及Y3BO6(硼酸钇)结晶作为该烧结体之构成结晶所构成。为了取得三氧化二钇(Y2O3)烧结体, 需於三氧化二钇(Y2O3)粉末中, 将硼化合物换算为氧化硼(B2O3), 以0.02重量%以上未达10重量%之比例添加, 使混合粉末成型後, 於1300℃以上未达1600℃下使其烧结。 | ||
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