| 申请日期 | 2025-07-12 | 申请号 | CN200480037018.3 |
| 公开（公告）号 | CN1957428A | 公开（公告）日 | 2007-05-02 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 美国超能公司 | ||
| 简介 | 本发明提供了一种高产量的系统，它通过加热涂 覆了REBCO前体的有缓冲层的金属衬底带，从而在连续长度 的有缓冲层的金属衬底带上面异位地形成诸如稀土－钡－铜 的氧化物(REBCO)等超导薄膜。当在工艺室内对这些前体进行 加热并引入水蒸汽时，它们发生分解，从而在缓冲层外沿形成 功能性的超导薄膜。带有为产生一个很长且很宽的沉积区域而 设计的喷头和衬底加热器组件的反应器，如有机金属化学蒸汽 沉积(MOCVD)反应器，很适用于本系统的这一工艺。该工艺 室在不加热炉壁的场合中可以是冷壁型的，而在加热炉壁的场 合中可以是热壁型的。 | ||
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