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含氟铈系研磨材料及其制造方法 发明授权

2023-03-19 2870 1500K 0

专利信息

申请日期 2025-07-15 申请号 CN200410068551.8
公开(公告)号 CN1300278C 公开(公告)日 2007-02-14
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 三井金属鉱业株式会社
简介 本发明的铈系研磨材料含有氟,全稀土类氧化物换算质量(TREO)与研磨材料质量的质量比在90wt%以上,Th和U的合计含量与该TREO的质量比((Th+U)/TREO)在0.05wt%以下,布莱恩法平均粒径(DB)为1.5μm~2.5μm。为了确保必要的研磨速度,对进行了以布莱恩法平均粒径(DB)为基准的粒径设定的铈系研磨材料进行研磨材料粒子的粒度分布的控制。因此,铈系研磨材料制造时如果采用布莱恩法平均粒径(DB)作为粒度设定基准,则可获得钍和铀等的含有率有所减少、且具备高研磨速度的铈系研磨材料。


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