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氧化铈系研磨材料、其制造方法及用途 发明申请

2023-03-11 1450 1817K 0

专利信息

申请日期 2025-09-07 申请号 TW095111981
公开(公告)号 TW200704761A 公开(公告)日 2007-02-01
公开国别 TW 申请人省市代码 全国
申请人 昭和电工股份有限公司
简介 本发明提供一种氧化铈系研磨剂,该氧化铈系研磨剂能够以廉价的工序安全且容易地制造出划痕少,表面粗糙度小且精度高的抛光面。 另外,本发明提供铈系研磨剂的制造方法。 该制造方法包括(a)向含铈轻稀土盐的水溶液中加入沉淀剂以沉淀轻稀土盐, 从而得到含有轻稀土盐颗粒的第一浆料;(b)向含有轻稀土盐颗粒的浆料中加入氟化剂,使轻稀土盐与氟化剂反应, 由此获得包含LiGBT稀土氟化物颗粒的第二浆料;(c)混合第一浆料和第二浆料以获得混合浆料;(d)干燥和焙烧混合浆料。 本发明的铈基磨料由该制造方法制造。


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