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薄膜晶体管、显示面板及薄膜晶体管的制作方法 发明申请

2023-06-08 4470 615K 0

专利信息

申请日期 2025-08-19 申请号 CN201810779917.4
公开(公告)号 CN108987470A 公开(公告)日 2018-12-11
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 华南理工大学
简介 本发明实施例公开了一种薄膜晶体管、显示面板及薄膜晶体管的制作方法。该薄膜晶体管包括:有源层设置于玻璃基板表面,源极和漏极与有源层连接;第一绝缘层,设置于有源层远离玻璃基板的一侧;栅极层,设置于第一绝缘层远离玻璃基板的一侧;第二绝缘层覆盖源极、漏极和栅极层,第二绝缘层上设置有通孔,通孔裸露出源极和漏极;有源层采用的材料为(MO)x(RO)y(TO)z,其中0


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