申请日期 | 2025-08-19 | 申请号 | CN201810779917.4 |
公开(公告)号 | CN108987470A | 公开(公告)日 | 2018-12-11 |
公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 华南理工大学 | ||
简介 | 本发明实施例公开了一种薄膜晶体管、显示面板及薄膜晶体管的制作方法。该薄膜晶体管包括:有源层设置于玻璃基板表面,源极和漏极与有源层连接;第一绝缘层,设置于有源层远离玻璃基板的一侧;栅极层,设置于第一绝缘层远离玻璃基板的一侧;第二绝缘层覆盖源极、漏极和栅极层,第二绝缘层上设置有通孔,通孔裸露出源极和漏极;有源层采用的材料为(MO)x(RO)y(TO)z,其中0 |
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