| 申请日期 | 2025-08-25 | 申请号 | CN200480023787.8 |
| 公开（公告）号 | CN1839216A | 公开（公告）日 | 2006-09-27 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | ||
| 简介 | 提供了一种制品，该制品包括基材和在该基材上 的耐腐蚀涂层。该基材通常主要由氧化铝组成，耐腐蚀涂层与 基材直接接触，因此在基材和耐腐蚀层之间不存在中间层，例 如高温处理过程生成的反应产物。耐腐蚀涂层通常主要由稀土 氧化物组成，其粘合强度不小于约15兆帕。根据特定的实施 方式，所述制品是用来加工半导体晶片的半导体加工设备中所 用的陶瓷部件。 | ||
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