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METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR WAFER 发明申请

2023-03-10 4020 876K 0

专利信息

申请日期 2025-08-25 申请号 WOJP05020185
公开(公告)号 WO2006051730A1 公开(公告)日 2006-05-18
公开国别 WO 申请人省市代码 全国
申请人 SHIN ETSU HANDOTAI CO LTD; YOKOKAWA Isao; AGA Hiroji; MITANI Kiyoshi
简介 A method for producing a semiconductor wafer in which an Si1-XGeX layer (0


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