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铈类研磨材料浆剂及其制造方法 发明授权

2023-10-12 4740 1549K 0

专利信息

申请日期 2026-03-16 申请号 CN02802963.1
公开(公告)号 CN1254518C 公开(公告)日 2006-05-03
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 三井金属鉱业株式会社
简介 本发明是含有相当于全稀土类氧化物(TREO)95重量%以上的铈类研磨材料粒子的铈类研磨材料浆剂。上述铈类研磨材料粒子中,对应于TREO的氟含量不到3重量%,利用激光衍射法测得的粒径分布在规定范围内。另外,将对应于TREO的氟含量定为0.005—0.5重量%可改善附着性。


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