申请日期 | 2025-08-08 | 申请号 | CN200580000085.2 |
公开(公告)号 | CN1764601A | 公开(公告)日 | 2006-04-26 |
公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 三井金属鉱业株式会社 | ||
简介 | 本发明提供可用作研磨材料、并且在用作研磨材 料时能够获得高研磨面精度的被研磨面的主成分为铈氧化物 的氧化物固溶体粉末。采用以氧化铈为主成分的稀土类氧化物 中固溶有钙氧化物的氧化物固溶体研磨玻璃基板等玻璃材料 时,能够获得高研磨面精度的被研磨面,非常适合用作研磨材 料。使钙元素固溶于以氧化铈为主成分的稀土类氧化物中,能 够提高化学研磨力,并能够得到更高的研磨面精度。 |
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