申请日期 | 2025-06-25 | 申请号 | TW094110692 |
公开(公告)号 | TW200539278A | 公开(公告)日 | 2005-12-01 |
公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 高级微装置公司 | ||
简介 | 一种绝缘体上覆半导体(SOI)装置系包含有钙钛矿晶格的介电质材料(52)层,例如稀土金属钪酸盐。该介电质材料(52)系经选定以便具有有效晶格常数,藉此能直接成长具有钻石晶格的半导体材料(54)於该介电质(52)上。该稀土金属钪酸盐介电质的实施例包含:钪酸钆(GdScO3)、钪酸镝(DyScO3)、以及钪酸钆与钪酸镝的合金(Gd1–xDyxScO3)。 |
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