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铈系研磨材料及其原料 发明申请

2023-01-19 2820 1767K 0

专利信息

申请日期 2025-07-18 申请号 CN200480001221.5
公开(公告)号 CN1701110A 公开(公告)日 2005-11-23
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 三井金属鉱业株式会社
简介 本发明提供具有发生损伤更少等优良研磨特性、研磨速度更高的铈系研磨材料。该铈系研磨材料作为稀土类氧化物至少含有氧化铈(CeO2)、氧化镧(La2O3)及氧化钕(Nd2O3),并含有氟元素(F),其总稀土类氧化物换算重量(TREO)为90wt%以上,同时,TREO中氧化铈所占重量比(CeO2/TREO)为50wt%~65wt%,并且TREO中氧化钕所占重量比(Nd2O3/TREO)为10wt%~16wt%。使用这样的铈系研磨材料能迅速得到研磨损伤发生较少的研磨面。


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