申请日期 | 2025-08-15 | 申请号 | CN03814306.2 |
公开(公告)号 | CN1662833A | 公开(公告)日 | 2005-08-31 |
公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 3M创新有限公司 | ||
简介 | 披露了一种具有光学密封层的光波导。“光学密 封层”是指在光波导器件中与芯层和包覆层不同的层,它的折 射率比包覆层的折射率低并且具有图案,从而在波导中对光进 行侧向引导;“侧向”方向是指在光学密封层平面的方向上。 该波导具有下包覆层、芯层、与芯层贴近的有图案的光学密封 层、任意的上包覆层和任意的基底。光学密封层可以包含如 MgF2、LiF或任何其它低折射率 的材料。芯层可以包含用如铝、钛、钽、锆、锗、铪或磷掺杂 的高折射率的二氧化硅。或者,芯层可以包含氧氮化硅(SiON) 或氮化硅 (Si3N4)。包覆层可以包含二氧化硅。例如,下包覆层可以包含用 硼或氟掺杂的低折射率的二氧化硅。基底可以包含硅或二氧化 硅。或者,包覆层和芯层可以分别包含聚合物。在某些实施方 案中,波导可以包括用稀土元素如铒掺杂的层。光学密封层的 位置可以变化,只要它贴近芯层就可。例如,光学密封层可以 在下包覆层和芯层之间,在上包覆层和芯层之间,嵌入芯层内, 嵌入上包覆层内,或嵌入下包覆层内。 |
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