研磨液、研磨液套组、添加液及研磨方法发明申请

2023-05-12 1390 2433K 0

申请日期	2025-09-12	申请号	TW107109300
公开（公告）号	TW201840805A	公开（公告）日	2018-11-16
公开国别	TW	申请人省市代码	全国
申请人	日商日立化成股份有限公司
简介	一种研磨液，其含有研磨粒、包含三价稀土类元素的水溶性化合物、以及液状介质，且所述水溶性化合物的含量超过0质量%且小於0.05质量%

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