基於稀土族氧化物的整体式腔室材料

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一种固体烧结陶瓷制品可包括含有浓度为约30mol%至约60mol%的Y2O3的固溶体， Er2O3的浓度为约20mol%至约60mol%，ZrO2，Gd2O3或SiO2中的至少一种的浓度为约0mol%至约30mol%。 或者，固体烧结陶瓷制品是包含40-100mol%Y2O3，0-50mol%ZrO2和0-40mol%Al2O3的固溶体。