悬浮液电浆喷涂用浆液，稀土类氧氟化物喷涂膜之形成方法及喷涂构件

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提供了一种用于悬浮等离子喷涂的浆料， 它是用于在包括含氧气体的气氛中进行悬浮等离子体喷涂的喷涂材料， 含有5～40质量%的最大粒径(D100)为12m以下的稀土氟化物粒子，以及选自水和有机溶剂中的一种以上的溶剂。 通过在包含含氧气体的气氛中进行悬浮等离子体喷涂，可以在基材上稳定地形成几乎不发生工艺偏移和颗粒生成的含稀土氟化物的喷涂膜。 具有该喷涂膜的喷涂构件对卤素基气体等离子体具有优异的耐腐蚀性。