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稀土金属靶材的制造方法

2025-07-30 01:541820下载
文件类型:PDF文档
文件大小:240K
本发明公开了一种稀土金属靶材的制造方法,包括:准备稀土金属板坯,将成型板坯装入模具,放入真空热压烧结炉中,在真空环境或氩气保护气氛下,热压成型得到稀土金属靶材毛坯;热压温度为700~1500℃,成型压力10~30MPa,保温保压1~2小时;对成型的稀土金属靶材毛坯进行表面磨抛及外形加工,得到稀土金属靶材。本发明获得的稀土金属靶材成品率高,易于规模化生产。


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