一种平板显示器用合金溅射靶材及其制备方法

文件类型：PDF文档
文件大小：366K
本发明公开了一种平板显示器用合金溅射靶材，包括鉬铌、细化晶粒剂、稀土元素改进剂和流动剂；鉬铌、细化晶粒剂、稀土元素改进剂、流动剂的物质质量比为(9‑11)：(1‑4)：(1.5‑2.5)：0.5。本发明合金溅射靶材制备中，采用以鉬铌为主要金属元素制备而成的平板显示器用合金溅射靶材；该靶材具有较高的密度以及延展性，进而保证了靶材中各成分的均匀性、减少靶材中气孔以及微裂纹的产生。