体声波谐振器结构、薄膜体声波谐振器结构以及固体装配型谐振器结构

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本发明涉及一种体声波谐振器结构、薄膜体声波谐振器结构以及固体装配型谐振器结构。一种体声波BAW谐振器结构包含安置在衬底上方的第一电极、安置在所述第一电极上方的压电层以及安置在所述第一压电层上方的第二电极。所述压电层由掺杂多种稀土元素的压电材料组成，用以改进所述压电层的压电特性。