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RARE-EARTH OXIDE BASED CHAMBER MATERIAL

2025-06-18 20:482150下载
文件类型：PDF文档
文件大小：1034K
An article comprises a plasma resistant ceramic material comprising 80-90 mol % of Y2O3, over 0 mol % to 20 mol % of ZrO2, and 10-20 mol % of Al2O3.


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