一种高温抗氧化AlTiYN涂层及其制备方法与应用

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本发明属于材料涂层制备技术领域，具体涉及一种高温抗氧化AlTiYN涂层及其制备方法与应用。本发明采用离化率高、涂层致密的多弧离子镀技术制备高温抗氧化AlTiYN涂层，将稀土元素Y引入AlTiYN涂层，有效改善多弧离子镀设备制备涂层过程中颗粒度大的缺点，提升涂层表面光洁度。该AlTiYN涂层硬度高、膜基结合力强、颗粒密度低、韧性好，以优良的综合性能适用于日常生产环境中；此外，Y的加入细化了晶粒，延迟了氧化层的生长，从而比未添加Y元素的AlTiN涂层相比表现更优异的抗氧化性能，这使得涂层适用于更苛刻的应用环境。