铈系研磨材料及其制造方法

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提供在玻璃基板等的表面研磨中，研磨速度高，而且能够抑制研磨面上的划痕和凹坑等表面缺陷的产生和研磨材料粒子的附着的、低成本且生产效率优异的铈系研磨材料及其制造方法。所述铈系研磨材料，含有立方晶复合氧化稀土和复合氟氧化稀土，全部稀土元素按氧化物换算后的含量为95.0～99.5质量％，相对于所述全部稀土元素的按氧化物换算后的含量，铈按氧化物换算后的含量为54.5～95.0质量％，镧按氧化物换算后的含量为4.5～45.0质量％，钕按氧化物换算后的含量为0.5～2.0质量％；含有0.5～4.0质量％的氟原子，相对于所述全部稀土元素的按氧化物换算后的含量，含有0.001～0.50质量％的钠原子。