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本发明涉及一种高致密度石英陶瓷材料及其制备方法,包括以下重量百分比的原料:稀土氧化物超微细粉5‑10%、金属氧化物超微细粉5‑15%、氧化锆粉10‑20%,余量为石英粉。本发明以石英陶瓷粉为主要原料,加入一定比例的金属氧化物超微细粉和稀土氧化物超微细粉,超微细粉尺寸在100nm以下,可以填充到石英陶瓷粉的空隙中,从而实现材料的致密化。金属氧化物超微细粉在石英陶瓷材料中可以形成特殊的结构,能够保护石英不受氧化的侵蚀,另一方面也能增强陶瓷材料的物理性能。稀土氧化物超微细粉在烧结或者加热处理过程中能够和石英粉中多余的氧元素发生反应,以净化石英晶粒,提高热导率。