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本发明公开了一种稀土离子掺杂钼酸盐或钒酸盐发光薄膜的制备方法,涉及稀土发光材料以及溶液法制备优质薄膜技术领域。该方法通过制备的可溶性稀土离子掺杂钼酸盐或钒酸盐的前体溶液,采用具有普适性的溶液成膜技术将该前体溶液在基片上制备成膜,最后经过较低退火温度处理得到稀土离子掺杂钼酸盐或钒酸盐发光薄膜。本发明利用简单溶液法制备高质量的稀土离子掺杂钼酸盐或钒酸盐发光薄膜,大大简化了制备工艺,节约了制备成本,制备得到的发光薄膜具有较高的荧光量子产率和较好的表面平整度。