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本发明公开了一种具有高垂直交换耦合场的稀土‑过渡合金薄膜及其制备方法,包括通过磁控溅射依次在基片上溅射的金属缓冲层、非磁氧化物层、合金层及金属保护层;通过调整溅射时间控制非磁氧化物层生长厚度,以调节与其直接接触的合金层氧化程度,形成合金层的氧化部分和未被氧化部分间的交换耦合体系,从而调节氧化层程度及垂直交换耦合场的大小。
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