一种稀土钕铁硼表面镀膜厚度在线测量系统及测量方法

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本发明涉及一种稀土钕铁硼表面镀膜厚度在线测量系统及测量方法，主要解决现有测量系统测量速度慢，测量精度低，抗环境干扰性能较差的问题。本发明通过采用一包括宽谱光源，所述宽谱光源输出的激光经过扩束准直透镜后变为平行光输出，该输出光经起偏器起偏后变为一线偏振光，该线偏振光入射进一迈克尔逊干涉仪中，所述迈克尔逊干涉仪由分束器、待测薄膜、反射镜和会聚透镜组成，所述待测薄膜通过磁控溅射等镀膜装置沉积在钕铁硼表面，待测薄膜表面的反射光和反射镜的反射光经过分束器后通过会聚透镜会聚到光纤中，该光信号通过光谱仪进行采集并通过计算机进行数据处理的技术方案，较好地解决了该问题，可用于色散光纤的测量。