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本发明公开了一种带废气处理的真空清洗装置,含有炉体和气体冷却装置,炉体内顶部设有氮气管和补气盘管,炉体内底部设有底部加热管,炉体的下部连接废料收集罐,炉体的一端口设有炉盖,炉体的另一端面设有废气排出管,还含有尾气净化系统,尾气净化系统包括加热器和催化净化装置,加热器包括外壳体和加热管,加热管位于外壳体的内部,外壳体的上部设有补气管,壳体的下端口与催化净化装置的上端口相通连,催化净化装置的下端出气管与所述气体冷却器上部的进气管相连,炉体另一端面设有的废气排出管与催化净化装置的上端口相通连,催化净化装置内设有以堇青石陶瓷蜂窝为第一载体,改性氧化铝、稀土复合氧化物为第二载体的净化催化剂。