成膜用粉末以及成膜用材料

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本发明的成膜用粉末是含有稀土类元素的氧氟化物Ln‑O‑F的成膜用粉末，其中，粉末的平均粒径D50为0.1μm以上且10μm以下，利用汞压入法测定的直径为10μm以下的细孔的容积为0.1cm3/g以上且0.5cm3/g以下，并且，在粉末的使用Cu‑Kα线或Cu‑Kα1线的X射线衍射测定中，2θ＝20度～40度的范围内观察到的稀土类元素的氧化物LnxOy的最大峰的强度S0与该范围内观察到的稀土类元素的氧氟化物Ln‑O‑F的最大峰强度S1之比S0/S1为1.0以下。