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本发明公开了一种氧化铟钛钇粉体及其制备方法,属于铟钛钇氧化物的制备领域。所述氧化铟钛钇粉体的化学式为In1‑x‑yTixYyO1.5+0.5x,其中,x=0.001‑0.2、y=0.001‑0.2。本发明氧化铟钛钇粉体的制备方法克服了加入大颗粒稀土金属导致的成分不均一的问题,最终获得粒径分布均匀缺成分均一的氧化铟钛钇粉体,该氧化铟钛钇粉体可以用于制备高密度、组织均匀及光电特异性优异的氧化铟钛钇靶材。
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