一种稀土类氧化物沉积的原子层沉积系统

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本实用新型涉及原子层沉积技术领域，提供了一种稀土类氧化物沉积的原子层沉积系统，包括腔体和腔体盖，腔体上设置有进气口和抽气口；所述腔体上分别连接有进气系统和抽气系统；本实用新型克服了现有技术的不足，解决了现有的稀土类氧化物所需的前躯体源饱和蒸汽压非常低，采用直接加热出源的方式会降低管路加热套和ALD阀门的寿命以及增加前躯体源的消耗量的问题；本实用新型采用载气辅助的出源方式，前躯体源的加热温度不用加热那么高，相应的管路和阀门温度也降低，延长管路和阀门的使用寿命；前躯体源的加热温度低，消耗的前躯体源量减少，节约了大量的成本。