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场效应晶体管, 包括: 衬底,钝化层,形成在衬底和钝化层之间的栅绝缘层,源电极和漏电极, 形成为与栅绝缘层接触的半导体层, 形成在至少源极和漏极之间并与栅绝缘层接触, 源极, 以及漏电极和栅电极, 其与栅极绝缘层接触并通过栅极绝缘层面对半导体层, 其中钝化层含有含碱土金属和稀土元素的第一复合氧化物,栅绝缘层含有含碱土金属和稀土元素的第二复合氧化物。
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