稀土Er掺杂改性的GeSb纳米薄膜及其制备方法

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本发明提供了一种稀土Er掺杂改性的GeSb纳米薄膜及其制备方法，所述稀土Er掺杂改性的GeSb纳米薄膜的组分表达式为Erx(GeiSbj)y，x、y、i、j都为原子百分比，其中0＜x≤0.10，0.90＜y≤1，x+y＝1.00，0＜i≤0.50，0.50＜y≤1，x+y＝1.00。本发明具有相变速度快、热稳定性好、数据保持力好、低功耗的特点，可以应用于相变存储器和相变显示器等。